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NTIS 바로가기Journal of nanoscience and nanotechnology, v.11 no.1, 2011년, pp.671 - 674
Jeong, Seong-Jun , Kim, Doo-In , Kim, Sang Ouk , Han, Tae Hee , Kwon, Jung-Dae , Park, Jin-Seong , Kwon, Se-Hun
Ru-TiN thin films were prepared from bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium and tetrakis(dimethylamino)titanium using plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD). The Ru and TiN were deposited sequentially to intermix TiN with Ru. The composition of Ru-TiN films was controlled precisely by changing...
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