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NTIS 바로가기Japanese journal of applied physics. Part 1, Regular papers, short notes and review papers, v.38 no.7A, 1999년, pp.4147 - 4151
Kang, Unbyoung , Lee, Taegon , Kim, Young–Ho
The adhesion of Pt/Ti thin films on SiNx/Si substrates with respect to the substrate pretreatment and annealing ambient was investigated using the adhesive tape test, the peel test, and the scratch test. Pt/Ti thin films were deposited a DC magnetron sputtering system. The in situ Ar+ RF plasma ...
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