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NTIS 바로가기Japanese journal of applied physics. Part 1, Regular papers, short notes and review papers, v.42 no.6B, 2003년, pp.4059 - 4062
Chen, Chihchung , Lee, Chengkuo , Lai, Yen-Jyh , Chen, Wenchih
A lateral comb-drive actuator with a thinned three-folded spring is proposed. This new actuator structure enables a large displacement under the same applied voltage as that for a traditional comb-drive actuator of folded spring. Thereof, in this paper, the new comb structure is applied as an actuat...
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