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A Design Method of Multiple Protocols Communication Module in Semiconductor Equipment Simulation Platform

Advanced materials research : AMR, v.462, 2012년, pp.516 - 523  

Wang, Wei (Chongqing University of Posts and Telecommunication) ,  Zou, Long Qing (Chongqing University of Posts and Telecommunication) ,  Xu, Hua (Tsinghua University) ,  An, You Wei (Chongqing University of Posts and Telecommunication) ,  Jia, Pei Fa (Tsinghua University) ,  Li, Bo (Chongqing University of Posts and Telecommunication) ,  Luo, Yuan (Chongqing University of Posts and Telecommunication)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper presents a design method for communication module design in semiconductor equipment simulation platform. There are several kinds of standardized protocols in semiconductor equipments intra communication, the method with which these standardized protocols can be configured and integrated i...

참고문헌 (6)

  1. Ruppel. F, Wysor. W: Potential benefits of using commercial simulators to test equipment control systems, Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 1997. IEEE/SEMI. 10.1109/asmc.1997.630733 

  2. Mitchell. K, Kerdoncuff: The virtual, cleanroom: microelectronics processing education through interactive multimedia, Industry Microelectronics Symposium, p.224-229, May (1995). 10.1109/ugim.1995.514150 

  3. Prescott. B. P, LeBaron. T: Making optimal design decisions for next generation dispensing tools , Simulation Conference, pp.1388-1393 vol. 2, (2003). 10.1109/wsc.2003.1261580 

  4. Yuan Yuan, Min Ding, Sheila Chopin : Failure Observations and Mechanical Modeling, 11th International Conference on Electronic Packaging Technology & High Density, (2010). 10.1109/icept.2010.5582873 

  5. Timothy S. Ramteke: Networks, Second Edition, Prentice-Hall 2001, ISBN 0-13-901265-6. 

  6. Ethemethp Specification, Release 1. 0, June 5, 2001, 2001 by ControlNet International and Open EviceNet Vendor association. 

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