[논문]Alumina and silicon oxide/nitride sidewall passivation for P- and N-type sensors

Christophersen, M.; Fadeyev, V.; Phlips, B.F.; Sadrozinski, H.F.W.; Parker, C.; Ely, S.; Wright, J.G.

doi:10.1016/j.nima.2012.04.077

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Alumina and silicon oxide/nitride sidewall passivation for P- and N-type sensors

Nuclear instruments & methods in physics research. Section A, Accelerators, spectrometers, detectors and associated equipment, v.699, 2013년, pp.14 - 17

Christophersen, M. , Fadeyev, V. , Phlips, B.F. , Sadrozinski, H.F.W. , Parker, C. , Ely, S. , Wright, J.G.

Abstract ▼ AI-Helper

Silicon detectors normally have an inactive region along the perimeter of the sensor. In this paper we describe a ''scribe, cleave, and passivate'' (SCP) technique for the fabrication of slim edges in a post processing with finished detectors. The scribing was done by laser-scribing and etching. After scribing and cleaving steps, the sidewalls are passivated with a dielectric. We present results for n- and p-type sensors with different sidewall passivations. The leakage current depends strongly on the type of sidewall passivation. An alumina passivation leads to very low leakage currents for p-type sensors because of a negative interface charge. For n-type sensors, a hydrogenated silicon nitride shows the lowest leakage currents. Furthermore, we applied the technique to large area n-type single-sided strip detectors (cleaving length up to 3.5cm).

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참고문헌 (11)

Journal of Instrumentation ATLAS Collaboration 3 S08003 2008 10.1088/1748-0221/3/08/S08003

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Nuclear Science Symposium Conference Record Fadeyev 2009
IEEE Nuclear Science Symposium Conference Record Wright 2010
Nuclear Science Symposium Conference Record Li 2002
Nuclear Instruments and Methods A Casse 581 318 2007 10.1016/j.nima.2007.07.136

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Nuclear Instruments and Methods A Mandic 612 474 2010 10.1016/j.nima.2009.08.004

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10.1016/j.nima.2010.04.090 K. Hara, et al., Nuclear Instruments and Methods A (2010) doi:10.1016/j.nima.2010.04.090

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Nuclear Instruments and Methods A Hara 636 S83 2011 10.1016/j.nima.2010.04.090

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Systems, and Manufacturing Ohmura 2 540 2008 Journal of Advanced Mechanical System Design
Journal of Instrumentation Mori 7 P05002 2012 10.1088/1748-0221/7/05/P05002

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Nuclear Instruments and Methods A Unno 636 24 2011 10.1016/j.nima.2010.04.080

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Alumina and silicon oxide/nitride sidewall passivation for P- and N-type sensors

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