[논문]Non-metallic element (chlorine) doped Zinc oxide grown by pulsed laser deposition for application in transparent electrode

Lee, J.; Park, E.; Subramaniam, N.G.; Lee, J.; Lee, J.; Lee, J.; Kang, T.

doi:10.1016/j.cap.2012.05.019

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Non-metallic element (chlorine) doped Zinc oxide grown by pulsed laser deposition for application in transparent electrode

Current applied physics : the official journal of the Korean Physical Society, v.12 suppl.4, 2012년, pp.S80 - S84

Lee, J. , Park, E. , Subramaniam, N.G. , Lee, J. , Lee, J. , Lee, J. , Kang, T.

Abstract ▼ AI-Helper

Chlorine (Cl) doped ZnO thin films are grown using Pulsed Laser Deposition (PLD) to conduct a feasibility study for the possible application of this material as transparent conducting electrode (TCO) in transparent electrodes. Cl doped ZnO films are deposited on c-plane (0001) sapphire (Al2O3) and glass substrates at 100 oC using two Cl doped ZnO targets with chlorine concentrations 1.4 at% and 2.4 at% respectively. Optical properties studied using UV-visible spectrometer indicates that Cl doped ZnO samples have 90% average transmittance in the visible region. A carrier concentration of-4.04 x 1020 cm-3, resistivity of 6.344 x 10-4 Ω cm and sheet resistance of 34.3 Ω/sq at room temperature are derived from Hall measurements and four probe measurements carried out on ZnO:Cl (2.4 at%) thin films. The reports indicate a better transparency and conductance in ZnO compared to similar reports on ZnO published elsewhere. Therefore, Cl doped ZnO is a possible potential TCO alternative for application as transparent electrodes in optoelectronics.

주제어

참고문헌 (15)

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