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[해외논문] Effect of the deposition process and substrate temperature on the microstructure defects and electrical conductivity of molybdenum thin films

Thin solid films, v.528, 2013년, pp.42 - 48  

Rafaja, D. ,  Kostenbauer, H. ,  Muhle, U. ,  Loffler, C. ,  Schreiber, G. ,  Kathrein, M. ,  Winkler, J.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The effect of point defects, dislocations and grain boundaries on the electron scattering in molybdenum thin films having a constant thickness of 500nm was described quantitatively in form of a dependence of the electrical resistivity on the concentration of impurity atoms, stress-free lattice param...

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