최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기Small, v.10 no.18, 2014년, pp.3761 - 3766
Kim, Sang‐Mi (Department of Materials Science and Engineering, Yonsei University, 50 Yonsei‐) , Khang, Dahl‐Young (ro, Seodaemun‐)
Bulk micromachining of Si is demonstrated by the well‐known metal‐assisted chemical etching (MaCE). Si microstructures, having lateral dimension from 5 μm up to millimeters, are successfully sculpted deeply into Si substrate, as deep as >100 μm. The key ingredient of this success i...
X. Li , P. W. Bohn , Appl. Phys. Lett. 2000 , 77 , 2572 .
K. Q. Peng , Y. J. Yan , S. P. Gao , J. Zhu , Adv. Mater. 2002 , 14 , 1164 .
K. Q. Peng , Y. J. Yan , S. P. Gao , J. Zhu , Adv. Funct. Mater. 2003 , 13 , 127 .
K. Q. Peng , Y. Wu , H. Fang , X. Y. Zhong , Y. Xu , J. Zhu , Angew. Chem. Int. Ed. 2005 , 44 , 2737 .
Z. Huang , N. Geyer , P. Werner , J. de Boor , U. Gosele , Adv. Mater. 2011 , 23 , 285 .
T. I. Lee , W. J. Choi , K.‐J. Moon , J.‐H. Choi , J. P. Kar , S. N. Das , Y. S. Kim , H. K. Baik , J.‐M. Myoung , Nano Lett. 2010 , 10 , 1016 .
V. Sivakov , G. Andra , A. Gawlik , A. Berger , J. Plentz , F. Falk , S. H. Christiansen , Nano Lett. 2009 , 9 , 1549 .
A. I. Hochbaum , R. K. Chen , R. D. Delgado , W. J. Liang , E. C. Garnett , M. Najarian , A. Majumdar , P. D. Yang , Nature 2008 , 451 , 163 .
W. Xu , J. C. Flake , J. Electrochem. Soc. 2010 , 157 , A41 .
B. Zhang , H. Wang , L. Lu , K. Ai , G. Zhang , X. Cheng , Adv. Funct. Mater. 2008 , 18 , 2348 .
S.‐S. Yoon , D.‐Y. Khang , J. Mater. Chem. 2012 , 22 , 10625 .
B. S. Kim , S. Shin , S. J. Shin , K. M. Kim , H. H. Cho , Langmuir 2011 , 27 , 10148 .
S. M. Spearing , Acta Mater. 2000 , 48 , 179 .
M. J. Madou , Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology , 3rd Ed. , CRC Press , New York 2012 , Vol. 2 , p 215 .
M. A. Gosalvez , I. Zubel , E. Viinikka , in Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (Eds: V. Lindroos , M. Tilli , A. Lehto , T. Motooka ), Elsevier 2010 , p 375 .
S.‐W. Chang , V. P. Chuang , S. T. Boles , C. A. Ross , C. V. Thompson , Adv. Funct. Mater. 2009 , 19 , 2495 .
M. Zahadinejad , S. D. Farimani , M. Khaje , H. Mehrara , A. Erfanian , F. Zeinali , J. Micromech. Microeng. 2013 , 23 , 055015 .
Z. Huang , Y. Shimizu , S. Senz , Z. Zhang , N. Geyer , U. Gosele . J. Phys. Chem. C 2010 , 114 , 10683 .
N. Megouda , T. Hadjersi , G. Piret , R. Boukherroub , O. Elkechai , Appl. Surf. Sci. 2009 , 255 , 6210 .
C. Y. Chen , C. S. Wu , C. J. Chou , T. J. Yen , Adv. Mater. 2008 , 20 , 3811 .
Z. Huang , T. Shimizu , S. Senz , Z. Zhang , X. Zhang , W. Lee , N. Geyer , U. Gosele , Nano Lett. 2009 , 9 , 2519 .
Z. Huang , X. Zhang , M. Reiche , L. Liu , W. Lee , T. Shimizu , S. Senz , U. Gosele , Nano Lett. 2008 , 8 , 3046 .
K. Q. Peng , J. J. Hu , Y. J. Yan , Y. Wu , H. Fang , Y. Xu , S. T. Lee , J. Zhu , Adv. Funct. Mater. 2006 , 16 , 387 .
J. Kim , H. Han , Y. H. Kim , S.‐H. Choi , J.‐C. Kim , W. Lee , ACS Nano 2011 , 5 , 3222 .
Th. De Jong , The stress distribution round an intinite row of circular holes in an orthotropic plate, Technical report (LR‐340) Delft University , The Netherlands 1982 .
P. Lianto , S. Yu , J. Wu , C. V. Thompson , W. K. Choi , Nanoscale 2012 , 4 , 7532 .
C. Chartier , S. Bastide , C. Levy‐Clement , Electrochim. Acta 2008 , 53 , 5509 .
S. Chattopadhyay , X. Li , P. W. Bohn , J. Appl. Phys. 2002 , 91 , 6134 .
C. L. Lee , K. Tsujino , Y. Kanda , S. Ikeda , M. Matsumura , J. Mater. Chem. 2008 , 18 , 1015 .
T. Hadjersi , Appl. Surf. Sci. 2007 , 253 , 4156 .
K. Peng , A. Lu , R. Zhang , S. T. Lee , Adv. Funct. Mater. 2008 , 18 , 3026 .
E. Franklin , V. Everett , A. Blakers , K. Weber , Adv. Optoelectron. 2007 , 35383 .
S. Sukas , W. D. Malsche , G. Desmet , H. J. G. E. Gardeniers , Anal. Chem. 2012 , 84 , 9996 .
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.