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Study of Metal Etching Using Ozone Water

Electrical engineering in Japan, v.193 no.1, 2015년, pp.65 - 72  

Hatsuki, Ryuji (Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan) ,  Yamamoto, Takatoki (Tokyo Institute of Technology, Tokyo, Japan)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

SUMMARYWe have proposed and experimentally demonstrated an environmental friendly, simple, and inexpensive etching method for metal using ozone water. We experimentally measured the dependencies of ozone water etching on the temperature and ozone concentration for several metals (Cr, Ni, Al, Au, and...

주제어

참고문헌 (16)

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