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Growth characteristics of corundum-structured α-(Al x Ga1−x )2O3/Ga2O3 heterostructures on sapphire substrates

Journal of crystal growth, v.436, 2016년, pp.150 - 154  

Kaneko, Kentaro (Photonics and Electronics Science and Engineering Center, Kyoto University, Katsura, Kyoto 615-8520, Japan) ,  Suzuki, Kenta (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Katsura, Kyoto 615-8510, Japan) ,  Ito, Yoshito (Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Katsura, Kyoto 615-8510, Japan) ,  Fujita, Shizuo (Photonics and Electronics Science and Engineering Center, Kyoto University, Katsura, Kyoto 615-8520, Japan)

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Abstract We report improved growth conditions for corundum-structured α-(Al x Ga1−x )2O3, followed by the growth characteristics of α-(Al x Ga1−x )2O3/Ga2O3 heterostructures with the use of mist chemical vapor deposition (CVD) technology. Higher growth temperatures, 700&ndas...

주제어

참고문헌 (35)

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  3. Appl. Phys. Express Sasaki 5 035502 2012 10.1143/APEX.5.035502 

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  34. Appl. Phys. Lett. Kamimura 104 192104 2014 10.1063/1.4876920 

  35. M. Hattori, R. Wakabayashi, T. Oshima, K. Sasaki, T. Masui, A. Kuramata, S. Yamakoshi, K. Horiba, H. Kumigashira, K. Yoshimatsu, A. Ohtomo, Presented at The 62nd JSAP (Japan Society of Applied Physics) Spring Meeting, Hiratsuka, Japan, #13p-D1-D8, 2015 (in Japanese). 

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