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NTIS 바로가기ECS transactions, v.80 no.4, 2017년, pp.17 - 31
Cheng, Kangguo (aIBM)
This paper provides an overview of FinFET technology, including its unique advantages and challenges in device design and fabrication. Common myths on FinFET are clarified. A methodology to decipher the confusing FinFET technology node names is shared. Potential solutions to further scaling FinFET a...
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