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[해외논문] Effect of the Curved Fin Top Edge on the Electrical Characteristics of FinFETs

Journal of nanoscience and nanotechnology, v.18 no.3, 2018년, pp.1837 - 1840  

Ahn, Joonsung (Department of Electronics and Computer Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea) ,  Kim, Tae Whan (Department of Electronics and Computer Engineering, Hanyang University, Seoul 04763, South Korea)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The effect of the curved fin top edge on the electrical characteristics of FinFETs was investigated. The curvature radius of the fin top edge for the FinFETs was changed from 0 to 5 nm in order to determine the optimum condition of the electrical characteristics for the devices. The on-current level...

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