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Focused Ion Beam Etching of GaN 원문보기

MRS Internet journal of nitride semiconductor research, v.4 suppl.1, 1999년, pp.769 - 774  

Flierl, C. ,  White, I.H. ,  Kuball, M. ,  Heard, P.J. ,  Allen, G.C. ,  Marinelli, C. ,  Rorison, J.M. ,  Penty, R.V. ,  Chen, Y. ,  Wang, S.Y.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have investigated the use of focused ion beam (FIB) etching for the fabrication of GaN-based devices. Although work has shown that conventional reactive ion etching (RIE) is in most cases appropriate for the GaN device fabrication, the direct write facility of FIB etching - a well-established tec...

참고문헌 (11)

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  3. Mack, M.P., Via, G.D., Abare, A.C., Hansen, M., Kozodoy, P.K., Keller, S., Speck, J.S., Mishra, U.K., Coldren, L.A., DenBaars, S.P.. Improvement of GaN-based laser diode facets by FIB polishing. Electronics letters, vol.34, no.13, 1315-1316.

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  8. Nakamura, Shuji, Senoh, Masayuki, Nagahama, Shin-ichi, Iwasa, Naruhito, Yamada, Takao, Matsushita, Toshio, Kiyoku, Hiroyuki, Sugimoto, Yasunobu, Kozaki, Tokuya, Umemoto, Hitoshi, Sano, Masahiko, Chocho, Kazuyuki. InGaN/GaN/AlGaN-based laser diodes with modulation-doped strained-layer superlattices grown on an epitaxially laterally overgrown GaN substrate. Applied physics letters, vol.72, no.2, 211-213.

  9. Yoshida, Seikoh, Suzuki, Joe. Reliability of GaN Metal Semiconductor Field-Effect Transistor at High Temperature. Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters, vol.37, no.5, L482-.

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