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역방전가공을 이용한 미세 공구 제작에서 가공 면적과 진동의 효과
Effect of Vibration and Machining Area in the Fabrication of Micro Tool by Reverse EDM

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.36 no.2, 2019년, pp.169 - 175  

나융 (숭실대학교 대학원 기계공학과) ,  김보현 (숭실대학교 기계공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

High aspect ratio-arrayed micro structures are used in various fields such as semiconductor packaging, biochip, nano composite material and superhydrophobic surface. Micro electric discharge machining (MEDM) has an advantage, in that hard material can be easily removed regardless of mechanical prope...

주제어

참고문헌 (16)

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  2. Joe, Hang-Eun, Kang, Eun-Goo, Jun, Martin B. G.. A Review of State of the Art of Electron Beam and Ion Beam Machining. 한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society of Precision Engineering, vol.35, no.3, 241-252.

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  15. Kim, Bo Hyun, Park, Byung Jin, Chu, Chong Nam. Fabrication of multiple electrodes by reverse EDM and their application in micro ECM. Journal of micromechanics and microengineering.: structures, devices, and systems, vol.16, no.4, 843-850.

  16. Roy, T., Datta, D., Balasubramaniam, R.. Numerical modelling and simulation of surface roughness of 3-D hemispherical convex micro-feature generated by reverse micro-EDM. International journal of advanced manufacturing technology, vol.97, no.1, 979-992.

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