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NTIS 바로가기대한전기학회 2000년도 하계학술대회 논문집 D, 2000 July 17, 2000년, pp.2766 - 2768
류제천 (한국표준과학연구원) , 김동진 (부산대학교 물리학과) , 강전홍 (한국표준과학연구원) , 김규태 (한국표준과학연구원) , 송양섭 (한국표준과학연구원) , 유광민 (한국표준과학연구원)
We were made the automatic measurement system of sheet resistance and resistivity of semiconductor and metals with accuacy. The use of this system measured SRM(Standard Reference Materials) silicon wafers which calibrated by NIST. From this result. this system operated with the standard deviation wi...
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