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NTIS 바로가기대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 A, 1994 July 21, 1994년, pp.141 - 143
한상우 (아주대학교 제어계측공학과) , 양의혁 (아주대학교 제어계측공학과) , 양상식 (아주대학교 제어계측공학과)
In this paper, an electrostatic micro-actuator is fabricated using flat p+ diaphragm. To avoid the buckling of the flat p+ diaphragm, the processes are designed appropriately. The fabrication processes of the actuator are the anisotropic etching with EPW, the boron diffusion process, Al deposition a...
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