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NTIS 바로가기대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C, 1996 July 22, 1996년, pp.1532 - 1535
문양식 (LG 전자) , 이재성 (한양대학교 금속재료공학과) , 이해승 (한양대학교 전기공학과) , 이재엽 (한양대학교 전기공학과) , 박진석 (한양대학교 전기공학과)
Diamond-like carbon (DLC) films have been prepared by a widely-used plasma CVD with an rf (13.56MHz) plasma of
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