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NTIS 바로가기대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C, 1996 July 22, 1996년, pp.1971 - 1973
한승오 (고려대학교 전기공학과) , 박정호 (고려대학교 전기공학과)
In this paper various types of gyroscope fabricated by micromachining technologies were reviewed. Four common types of gyroscope reported in the past few years are beam, tuning fork, gimbal, and vibrating shell structure made by surface micromachining using sacrificial layer, bulk micromachining usi...
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