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NTIS 바로가기대한전기학회 2000년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C, 2000 Nov. 25, 2000년, pp.461 - 463
이윤재 (고려대학교 전기공학과) , 박정호 (고려대학교 전기공학과)
This paper presents a low temperature excimer-laser-crystallization that produces directionally solidified microstructure in Si thin films. The process involves (1) a complete melting of selected area via irradiation through a patterned mask. and (2) a precisely controlled pulse translation of the s...
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