[논문]PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구

송재진; 김문협; 최진혁; 노재승; 김인수; 김성진

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[국내논문] PECVD법으로 증착된 DLC film의 구조변화 연구
Structural investigation on DLC film deposited by PECVD 원문보기

한국재료학회 1999년도 춘계학술발표강연 및 눈문개요집, 1999 May 01, 1999년, pp.107 - 107

송재진 (금오공과대학교 재료공학과) , 김문협 (금오공과대학교 재료공학과) , 최진혁 (금오공과대학교 재료공학과) , 노재승 (금오공과대학교 재료공학과) , 김인수 (금오공과대학교 재료공학과) , 김성진 (금오공과대학교 재료공학과)

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