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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 1992년도 춘계학술대회 논문집, 1992 May 01, 1992년, pp.144 - 146
박남천 (경남대학교 전자공학과) , 서은덕 (경남대학교 화학공학과)
Surface acoustic wave(SAW) oscillator offers many attractive features for application to vapor sensors. The perturbation of SAW velocity by the hexafluoropropence plasma polymer thin film has been studied for relative humidity sensing. adsorption of moisture produces rapid aid changes in the propert...
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