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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 1996년도 추계학술대회 논문집, 1996 Nov. 01, 1996년, pp.291 - 294
박민 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 현영철 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 김천수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 유현규 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 구진근 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 이성현 (한국외국어대학교 전자공학과)
We present the experimental results of high quality factor (Q) inductors fabricated on high-resistivity silicon wafer using standard CMOS process without any modificatons such as thick gold layer or multilayer interconnection. This demonstrates the possibility of building high Q inductors using lowe...
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