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NTIS 바로가기한국정밀공학회 1997년도 추계학술대회 논문집, 1997 Oct. 01, 1997년, pp.887 - 890
장원석 (한국기계연구원 정밀가공그룹) , 김재구 (한국기계연구원 정밀가공그룹) , 윤경구 (한국기계연구원 정밀가공그룹) , 신보성 (한국기계연구원 정밀가공그룹) , 최두선 (한국기계연구원 정밀가공그룹)
Recently micromachining using DPSSL(Diode Pumped Solid State Laser) with 3rd harmonic wavelength is actively studied in laser machining area. Micromachining using DPSSL have outstanding advantages as UV source comparing with excimer laser in various aspect such a maintenance cost, maskless machining...
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