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NTIS 바로가기한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집, 1994 June 01, 1994년, pp.151 - 151
이시우 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정연구실)
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