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NTIS 바로가기한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집, 1997 July 01, 1997년, pp.213 - 214
김현수 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) , 이원정 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) , 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정 연구실) , 김정훈 (서울대학교 전기공학과) , 황기웅 (서울대학교 전기공학과) , 백종태 (한국전자통신연구소)
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