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NTIS 바로가기대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 II, 2003 July 01, 2003년, pp.1049 - 1052
이민건 (인하대학교 전자공학과) , 장동훈 (인하대학교 전자공학과) , 강성준 (여수대학교 반도체·응용물리학과) , 윤영섭 (인하대학교 전자공학과)
This study shows the change of the structural characteristic of AIN thin film deposition with the change of the deposition conditions such as Ar/
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