[논문]고진공배기 시스템 장치개발에 관한연구

김수용; 이오걸

고진공배기 시스템 장치개발에 관한연구
The manufacturing Improvement of high VacuumExhausted Sealing Equipment 원문보기

김수용 (한길정보통신주식회사) , 이오걸 (동의공업대학)

This machine is a high-vacuum exhaust sealing device which makes the inside of PDP element in high vacuum state, blows inactive gases into it and finally seals it. This machine consists of vacuuming parts, heating parts and exhausting parts. Applying the energy saving technology, this machine improves the temperature uniformity of vacuuming and heating parts.

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문제 정의

본 논문에서는 이러한 진공펌프시스템에서 기술을 정보화 사회로 변화면서 대중전달 매체인 큰 면적을 가지는 디스플레이가 필요로 하고 있으며, 현재 디스플레이로는 CRT(cathode ray tube) TFT-LCD, PDP, FED, VFD, EL등의 디스플레이가 대중 전달 매체로 사용되고 있다. display분야 진공 배기 시 기존 Tip oft방식에서 Tipless 방식을 책략을 하면서 효율을 30% 상승시키고, 최적화된 공정개선, 원가절감을 하므로 에너지 절약형 고진공 배 기 밀봉장치를 개발하고자 한다.

가설 설정

3. Display소자 가열온도를 균일하게 제어(Cental)흐기 위해서 가열히터 (heater)를 상하영역으로 구분하여 조절하도록 제작되어 있습니다. .
4. 실제 기판온도가 항상 균일한지를 감시할 수 있는 온도센서를 기판하부에 설치하여 제품의 신뢰성을 높 일수 있도록 기판홀더가 특수 설계되어 있습니다.

제안 방법

(8) 기판홀더 : 유리기판을 수평으로 잘받쳐주고 있는가 와 규정된 위치에 정위치시킬 수 있는가를 측정.
1. 배기구 밀봉방식을 Tipless방식과 Tube Nozzle방식을 선택적으로 연구 실험할수 있는 구조로 제작되어 연구의 효율을 극대화 시켰다.
본 고진공 배기 펌프장치의 도달 진공도는 진공배기 범퍼부분을 약 24시간동안 베이킹과 배기를 동시에 행하 고 베이킹후 약 12시간 냉각후의 얍력으로 도달 진공도 까지 배기후 고진공 밸브를 닫고 1시간동안 압력변화측 정을 하였으며, 온도 균일도는 상온-380까지 가열시 온 도유지 영역에서 30분 경과후 유리기판 상부에 열전대를 9점에 설치하여 측정시의 평균값 오차로 측정하였다. 따라서 Tipless방식을 채택을 하므로서, 진공도, 온도균 일성 향상, 효율30[%] 상승이 가능하였으며, 공정개선 및 원가절감을 할 수 있는 우수한 제품의 개발이 가능하 였다'
본 기술은 에너지 절약형 진공배기 System에 관한 것으로 평판형 Lamp의 효율 30% 상승시키고, 공정개설, 원가 절감을 함으로서 다음과 같은 용도로 사용된다.
본 논문에서는 이러한 진공펌프시스템에서 기술을 정보화 사회로 변화면서 대중전달 매체인 큰 면적을 가지는 디스플레이가 필요로 하고 있으며, 현재 디스플레이로는 CRT(cathode ray tube) TFT-LCD, PDP, FED, VFD, EL등의 디스플레이가 대중 전달 매체로 사용되고 있다. display분야 진공 배기 시 기존 Tip oft방식에서 Tipless 방식을 책략을 하면서 효율을 30% 상승시키고, 최적화된 공정개선, 원가절감을 하므로 에너지 절약형 고진공 배 기 밀봉장치를 개발하고자 한다.

대상 데이터

그림 2는 본 개발에 의해 생산되는 재품사진으로 가열 챔버계, 가열계, 기판홀더계, 진공배기계, 프레임계제어 반계, 계측계, 가스공급계, 공압계, 냉각수계로 구성되어 있다.
본 개발제품은 Fig.l의 블록다이어그램과 같이 구성되어 져 있으며, 전원(AC_22200V), 가열챔버계, 가열겨L 기판홀더계, 진공배기계, 프레임계, 가스공급계, 계측계, 조작계, 공압계, 냉각수계로 구성되어 있다.

성능/효과

(1) 도달진공도 : 도달진공도는 진공배기 버퍼부분을 약 24시간 동안 베이킹과 배기를 동시에 행하고, 베이 킹후 약 12시간 냉각후의 압력이다.
7. Valve System이 공압 구동 방식으로 되어 있어서 정전 시 Valve가 모두 차단되어 장비를 보호할 수 있다.
본 고진공 배기 펌프장치의 도달 진공도는 진공배기 범퍼부분을 약 24시간동안 베이킹과 배기를 동시에 행하 고 베이킹후 약 12시간 냉각후의 얍력으로 도달 진공도 까지 배기후 고진공 밸브를 닫고 1시간동안 압력변화측 정을 하였으며, 온도 균일도는 상온-380까지 가열시 온 도유지 영역에서 30분 경과후 유리기판 상부에 열전대를 9점에 설치하여 측정시의 평균값 오차로 측정하였다. 따라서 Tipless방식을 채택을 하므로서, 진공도, 온도균 일성 향상, 효율30[%] 상승이 가능하였으며, 공정개선 및 원가절감을 할 수 있는 우수한 제품의 개발이 가능하 였다';

후속연구

최군 진공 펌프는 고유의 도달 잔공도가 있으므로 용도에 맞춰 진공도를 선정, 사용할 진공 펌프를 개발할 필요가 있다. 도달 압력이 760~l00Torr.

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