초록 ▼

최종목표
■ 고진공펌프 운전 상태 및 진공특성에 대한 국제적 소급성을 갖는 성능평가 장치 개발 및 관련 핵심 기술지원 infra 구축
o 2500 L/s급 복합분자펌프와 3600 L/s급 크라이오펌프 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가를 위한 진단장치 및 관련 기술 개발
o 고진공펌프 운전 상태 및 진공특성에 대한 국제적 소급성을 갖는 성능평가 기술 및 장치 개발
o 국제적 신뢰성 확보, 공정대응 분석 및 진단을 위한 평가장치 기술개발
■ 2단계 개발 목표
o 고진공펌프 종합특성 평가시스템 운용

최종목표
■ 고진공펌프 운전 상태 및 진공특성에 대한 국제적 소급성을 갖는 성능평가 장치 개발 및 관련 핵심 기술지원 infra 구축
o 2500 L/s급 복합분자펌프와 3600 L/s급 크라이오펌프 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가를 위한 진단장치 및 관련 기술 개발
o 고진공펌프 운전 상태 및 진공특성에 대한 국제적 소급성을 갖는 성능평가 기술 및 장치 개발
o 국제적 신뢰성 확보, 공정대응 분석 및 진단을 위한 평가장치 기술개발
■ 2단계 개발 목표
o 고진공펌프 종합특성 평가시스템 운용
o 상용화 단계 기술지원 및 현장 상태진단 기술개발을 통한 시제품 신뢰성 확보
o 고진공펌프 현장 투입 시험

개발내용 및 결과
o고진공펌프 운전상태 종합 특성평가시스템 설계, 진단 기술개발 완료
- 크라이오펌프: 3600 L/s, 10^-11 mbar 특성평가 기술 및 장치 개발
- 복합분자펌프: 2500 L/s, 10^-11 mbar 특성평가 기술 및 장치 개발
o 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가 기술 및 장치 개발 완료
- 크라이오펌프: 냉동기 냉각능력 특성평가 기술 및 장치 개발
- 복합분자펌프: 연속부하시험, 파괴시험, 자기장영향 진단기술 및 장치 개발
o 공정대응성, 공정 현장(NNFC) 신뢰성 확보 기술 및 장치 개발 완료
- 크라이오펌프: Sputter System의 공정신뢰성 진단기술 및 장치개발
- 복합분자펌프: Etcher System의 공정신뢰성 진단기술 및 장치개발
o 상용화 단계 기술 개발 지원 infra 구축 완료
- 고진공펌프 개발 현장 및 대내외 성능진단 기술데이터 제공 infra 구축 완료
- Quality Assurance Evaluation System 기술 개발 완료

기술개발 배경
o 반도체/디스플레이 등 첨단 공정에서 진공 환경을 조성하는 핵심장비로, 본 사업 하에서 개발하려고 하는 고진공펌프의 신뢰성을 선진국 수준으로 확보하고 국제적 측정소급성을 유지하기 위한 종합 특성평가시스템의 H/W, S/W 구축 필요
o 국제적으로 공인받을 수 있는 평가기준을 확립하고 그 기준에 의한 진공/기계적 성능의 전 방위적인 종합특성진단과 공정대응성 평가 등 신뢰성 확보를 통한 제품개발 주체와의 유기적인 feed-back 기능의 infra 구축 당위성 확인
o 크라이오펌프 및 복합분자펌프의 상용화 제품개발 전 과정동안 각각 독립적이고 종합적인 성능평가시스템 구비로 선진화 개발체계 진입

핵심개발 기술의 의의
o 국내외 유일의 고진공펌프 종합특성평가시스템 인프라 구축으로 선진 진공펌프 수준에 대응할 수 있는 국산화 제품개발 능력의 기반을 확립함.
o 첨단산업 및 미래산업의 전개에 따른 진공기술의 필요충분조건에 따라 업그레이드를 통한 새로운 형태의 진공펌프 개발을 선도할 수 있는 인프라를 제공함.

적용 분야
o 크라이오펌프, 터보분자펌프 등 고진공펌프의 국산화 개발
o 배후펌프 등 저진공펌프 개발 및 선진화 토대 제공
o 국내외 전 진공펌프류의 국제소급성을 갖는 진단 및 시험평가
o 첨단 산업체의 근간인 선진 진공기술의 국내외 보급

(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록)

목차 Contents

• 표지 ... 1제출문 ... 2기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3기술개발사업 주요 연구성과 ... 7목차 ... 12제 1 장 서론 ... 15 제 1 절 과제의 개요 ... 15 1. 개발 대상 기술․제품의 개요 ... 15 2. 개발 대상 기술․제품의 중요성과 파급효과 ... 18제 2 장 과제 수행의 내용 및 방법 ... 22 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 22 1. 최종 목표 ... 22 2. 기술개발의 평가방법 및 평가 항목 ... 23 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 24 1. 1단계 개발목표 및 평가방법 ... 24 2. 2단계 개발목표 및 평가방법 ... 26 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 30 1. 당해단계 추진전략 ... 30 2. 2단계 1차년도 개발 내용 및 개발 범위 ... 31 3. 2단계 2차년도 개발 내용 및 개발 범위 ... 32 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 33 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 34제 3 장 결과 및 향후(사업화) 계획 ... 35 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 35 1. 연구개발 추진 일정 ... 35 2. 연구개발 추진 실적 ... 37 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 40 4. 크라이오펌프 진단 ... 49 5. 터보분자펌프 진단 ... 78 6. 고진공펌프 개발 총평 ... 105 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 111 1. 총 개발기간 추진전략 ... 111 2. 각 기관별 역할 및 추진 내역 ... 115 제 3 절 자체보안관리진단표 ... 118끝페이지 ... 118