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[국내논문] 금속 산화물 센서 이용한 VOC의 측정에 관한 연구
The study of measure the VOC using MOS Sensor 원문보기

대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 D, 2003 July 21, 2003년, pp.2079 - 2081  

김동진 (호서대학교 전기정보통신공학부) ,  정영창 (호서대학교 전기정보통신공학부) ,  홍철호 (호서대학교 전기정보통신공학부) ,  주민식 ((주)제니스테크 기술연구소)

초록
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현재 산업화 사회가 가속됨에 따라 인체에 유해한 물질들이 발생한다. 그 중에서 VOC(Volatile Organic Component)는 인체에 치명적인 해를 일으키는 물질이다. 본 논문은 MOS(Metal Oxide Semiconductor) 센서를 이용하여 인체에 치명적인 유해 물질인 VOC를 측정하였다. 현재 VOC의 측정은 GC(Gas Chromatograph)를 이용하는데 이는 측정 시간이 길며 숙련된 측정자에 의해서만 측정이 가능하고 그 분석이 가능하다. 그러나 MOS 센서를 이용하면 숙련되지 않은 측정자도 측정이 가능하며 인공신경망을 이용하여 그 분석을 함으로서 누구나 쉽게 분석이 가능하고 실시간으로 측정이 가능하다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문예서는 이러한 인간의 오감 중 후각을 응용한 MOS 센서를 이용하여 VOC 측정 장비를 설계하고 구현하였다. MOS 센서는 대기와 작업경에서 쫀 재 하는 각종의 가스의 농도를 전기적인 신호로 변환시킬 수 있는 소자로 감지속도가 빠르고 경제적이며 적당한 물질을첨가함으로서 특정가스에 대한 선택성의 부여가 가능하다는 장점이 있으며, 특히 GC를 이용하여 가스의 농도를 측정하는 방법에 비해 우수한 장점을 가지고 있다.
  • 본 논문에서는 mt”계열 MOS 셴서로 감지 가스의 농도가 증가할 때 센서 표면에 흡착된 산소를 탈착 시켜 전기 전도 도를 낮춘다.
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