[논문]Frequency Response Analysis of Electrostatic Microactuators

Min, Dong-Ki

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[국내논문] Frequency Response Analysis of Electrostatic Microactuators
정전형 마이크로 엑츄에이터의 주파수 응답 특성 해석 원문보기

대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C, 2002 July 10, 2002년, pp.1982 - 1984

Min, Dong-Ki (Storage Lab., Samsung Advanced Institute of Technology)

Abstract ▼ AI-Helper

The admittance of one-port electrostatic actuator are modeled using the steady-state sinusoidal response. Also the admittance of the differential type actuator is derived taking the practical conditions into consideration, although it has no admittance in ideal case. It is a function of biasing error, driving error, and capacitive mismatch including parasitic capacitors. The validity of the admittance model is proved by comparing between the modeled and measured admittances. The distortion in the frequency response curve measured by a capacitive sensor is analyzed and it is concluded that the admittance is the main cause of this distortion.

AI 본문요약
AI-Helper

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제안 방법

In this paper, after deriving the admittances of one-port actuator and a differential type actuator from the steady-state sinusoidal response considering the practical conditions, the modeled admittances and the measured admittances are compared. Then the distortion in the frequency response curve obtained by a capacitive sensor of which the demodulator is a sample and hold device is analyzed and the main factor affecting this distortion is given.

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

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