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NTIS 바로가기한국재료학회 2002년도 춘계 학술발표강연 및 논문개요집, 2002 May 01, 2002년, pp.157 - 157
김성관 (한국과학기술원 재료공학과) , 김형도 (삼성전자 포토마스크팀) , 김정민 (삼성전자 포토마스크팀) , 김상호 (한국 과학 기술 교육 대학) , 노광수 (한국과학기술원 재료공학과)
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