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NTIS 바로가기한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집, 2002 Nov. 01, 2002년, pp.189 - 189
김성관 (한국 과학 기술원) , 노광수 (한국 과학 기술원) , 강명아 (삼성 전자 포토 마스크 팀) , 손정민 (삼성 전자 포토 마스크 팀)
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