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제안 방법
- 본 연구에서는 텅스텐 금속을 과산화수소에 용해한 후 이 용액을 알코올에 넣은 후 마그네틱 스터러에서 혼합하고 chelating agent를 첨가하여 투명한 솔을 합성할 수 있었다. 이 솔은 3개월 이상 공기 중에서 안정하였고 침전물 등이 생성되지 않았다.
- 이 전구체를 150°C에서 12시간 건조한 후 DTA/TG 분석을 한 결과 약 350°C에서 흡수피크가 생기고 이 온도에서 WO3가 생성되는 것으로 여겨 진다. 투명한 솔에 슬라이드 글라스와 ITO 글라스를 50-200mm/min의 속도로 dip-coater를 이용하여 코팅한 후 15(TC에서 10분 건조한 후 300-500°C에서 1시간 열처리하여 박막을 형성하였다. 200mm/min의 속도로 코팅한 경우 27nm 두께의 박막을 얻을 수 있었으며, XRD 분석결과 cubic상의 WO3 결정이 생성되는 것을 확인할 수 있었다.
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