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반도체 물류 제어를 위한 dispatching logic 개발 원문보기

한국경영과학회/대한산업공학회 2003년도 춘계공동학술대회, 2003 May 01, 2003년, pp.364 - 368  

서정대 (경원대학교 테크노경영공학과) ,  구평회 (부경대학교 산업공학과) ,  장재진

초록
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본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 제조라인에서 설비의 현재 및 미래 정보를 이용하여 실시간 dispatching을 수행하는 핵심 logic들을 개발하고 그 효과를 보인다. 이때 반송 장비의 가용성 및 미래의 계획 정보도 함께 고려한다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 동일한 기능을 가진 장비들 이 그룹을 형성하고 있는 제조 환경에서 look ahead 정보를 활용하여 unload request 및 load request를 처리하는 logic을 개발한다. 이 때 intra bay (bay 내 ) 및 inter bay (bay 간) 반송, 또는 구역 내의 반송에서 AGV 둥과 같 은 반송 장비에 대한 가용성 및 미래 계획도 함께 고려한다.
  • 본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장 비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 제조라인 에서 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispafcher)를 위한 핵심 logic인 URL 및 LRL 을 개발, 제시하였다. 이때 반송 장비의 가용성 및 미래의 계획 성보를 함꼐 고려하였다.
  • 본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장 비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 제조라인 에서 설비의 현재 및 미래 정보를 이용하여 실 시간 dispatching을 수행하는 핵심 logic들을 개발하고 그 효과를 보인다. 이때 반송 장비의 가용성 및 미래의 운반 계획 정보도 함께 고려 한다.
  • 현재 장비 g에서 가공 완료된 lot이 AGV를 호출하여 가용한 AGV가 할당되어 NOM ri룹 의 임의의 장비 q로 출발했다고 하자. N0M 그룹이 동일 bay에 있는 경우에는 N0M 그릅 장비로 직접 가고, 인접 bay에 있는 경우에는 stocker를 경유하여 바로 N0M 二룹 장비로 간다고 하자.
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