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제안 방법
- )64)은 methylisobutyl ketone으로 용액을 만들고 film을 형성하는 methyl silsesquioxane용액과의 중량비로 l-50wt% 혼합용액을 제조하였다. 이를 100 - 420°C까지 가열하여 porogen을 열분해시켜 나노기공이 형성된 초박막형 절연체를 만들었다. cross-section TEM시편준비 및 카본그리드위에 용액상 태에서 dipping방법으로 균일하고 얇은 박막시편을 준비하였다.
- 그러나 이러한 나노기공들이 10nm의 크기이하로 존재하고 또한 그것들이 균일하게 TEM시편의 top 부터 bottom까지 고밀도로 중첩되어 있는 경우에는 기존의 상들의 amplitude 변화에 따른 콘트라스트는 거의 없어 TEM 관찰이 어렵게 된다. 이에 새로운 시편 준비방법을 고안하고 defocus에 의한 phase contrast 를 이용하여 5nm의 나노기공을 관찰할 수 있었다.
대상 데이터
- TEM 분석을 위해서 JEOL JEM-3000F FEG 와 Gatan GIF-200을 이용하였다. defocus에 의한 phase contrast를 보기 위하여 underfocus 에서 overfocus로 -5# 에서 +5 # 내외의 defocus를 실시하였다.
- 나노기공을 발생시키는 porogen (DAB-dendr-(NH2)64)은 methylisobutyl ketone으로 용액을 만들고 film을 형성하는 methyl silsesquioxane용액과의 중량비로 l-50wt% 혼합용액을 제조하였다. 이를 100 - 420°C까지 가열하여 porogen을 열분해시켜 나노기공이 형성된 초박막형 절연체를 만들었다.
- 본 실험에서 사용된 porogen으로 구형의 모양을 갖고 열분해에 의해 구형의 나노기공을 형성하게 된다. 아래 그림에는 5nm의 작은 나노기공들과 15nm의 다소 큰 기공들이 균일하게 분포하는 것을 보이고 있다.
이론/모형
- 이를 100 - 420°C까지 가열하여 porogen을 열분해시켜 나노기공이 형성된 초박막형 절연체를 만들었다. cross-section TEM시편준비 및 카본그리드위에 용액상 태에서 dipping방법으로 균일하고 얇은 박막시편을 준비하였다.
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