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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회논문집, 2001 Nov. 01, 2001년, pp.141 - 144
전병훈 (중부대학교 기술공학부) , 박재준 (중부대학교 기술공학부) , 하성철 (동국대학교 전기공학과)
An accurate cross sections set are necessary for the quantitatively understanding and modeling of plasma phenomena. By using the electron swarm method, we determine an accurate electron cross sections set for objective atoms or molecule at low electron energy range. In previous paper, we calculated ...
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