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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회논문집, 2001 Nov. 01, 2001년, pp.509 - 512
조인호 (경북대학교 대학원 전자공학과) , 장철영 (경북대학교 대학원 전자공학과) , 고성용 (경북대학교 대학원 전자공학과) , 이용현 (경북대학교 전자전기컴퓨터 공학부)
Aluminum nitride(AIN) thin films were deposited on silicon substrates using RF magnetron sputtering at various deposition conditions and investigated the characteristics. It was used XRD, AES, SEM, and HP-4145B semiconductor parameter analyzer to analysis deposited AIN thin films. The deposition con...
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