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문제 정의
- 더불어 정말로 광학적 리소그래피의 종말이 올 것인지? 온다면언게가 될 것인지? 아니면 광학적 리소그래피 기술을 연장해서 인류가 원하는 소자들을 충분히 양산할수 있을 것인지에 대해 살펴보고자 한다. 그 과정으로 수은등의 g-선(436 nm)과 i-선(365 nm), Kr]'(248 nm), ArF(193 nm), VUVC157 nm) 및 EUV(13.5 nm) 등으로 짧아지고 있는 광원들에 대해그 가능성과 문제점 등을 알아볼 것이다.
- 될 것인지? 아니면 광학적 리소그래피 기술을 연장해서 인류가 원하는 소자들을 충분히 양산할수 있을 것인지에 대해 살펴보고자 한다. 그 과정으로 수은등의 g-선(436 nm)과 i-선(365 nm), Kr]'(248 nm), ArF(193 nm), VUVC157 nm) 및 EUV(13.
- 우리는 이러한 초해상도 기술들의 보다 근본적인 광학적 근거를 찾고 보다 더 해상도를 향상시킬 수있는 방법들을 같이 생각해 볼 것이다. 더불어 정말로 광학적 리소그래피의 종말이 올 것인지? 온다면언게가 될 것인지? 아니면 광학적 리소그래피 기술을 연장해서 인류가 원하는 소자들을 충분히 양산할수 있을 것인지에 대해 살펴보고자 한다.
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