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광위상 3차원 형상 측정법에서의 오차보정
Error compensation in the optical 3D phase measuring profilometry 원문보기

한국광학회 2003년도 하계학술발표회, 2003 July 01, 2003년, pp.154 - 155  

황용선 (전북대학교 기계설계학과) ,  강영준 (전북대학교 기계설계학) ,  백성훈 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ,  박승규 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ,  임창환 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부)

초록
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PMP(Phase Measuring Profilometry)측정법은 투영계와 기록계의 기하학적 구성과 광학계의 정렬적인 문제에 의해서 기본적으로 오차를 가지고 측정된다. 일반적으로 PMP 형상 측정에서 측정면과 광학계의 높이가 피 측정면에 비해서 상당히 큰 경우, CCD 카메라에서 높이 방향으로 측정영역이 작아지게됨으로써 측정위상이 기준면에서의 위치와 높이 방향에 따라서 다르게 나타나고 프로젝터가 측정면에 투영되는 간섭무의의 피치가 다르게 적용된다. (중략)

AI 본문요약
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문제 정의

  • 이러한 원인으로 인해서 일정한 높이면에서의 측정을 행할 경우 오차로 인해 정확한 측정을 할 수 없게 된다. 본 논문에서는 이러한 오차의 크기와 오차해결 방법을 찾고 calibration방법에 따른 오차의 보정결과를 기술하였다.
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