$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국내논문] 다이오드레이저 흡수분광 방법을 이용한 수증기 미량 분석
Trace Analysis of Water Vapor by Using Diode Laser Absorption Spectroscopy 원문보기

한국광학회 2003년도 하계학술발표회, 2003 July 01, 2003년, pp.176 - 177  

김택수 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부) ,  김복실 (충남대학교 물리학) ,  박상언 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ,  정의창 (한국원자력연구소 양자광학기술개발) ,  정도영 (한국원자력연구소 양자광학기술개발부)

초록
AI-Helper 아이콘AI-Helper

진공 환경 및 가스에 함유된 미량의 수증기를 정량적으로 분석할 수 있는 계측기는 각종 산업 분야에서 그 필요성이 절실하다. 몇 가지 예를 들면 다음과 같다. 전구 속에 함유된 수증기로 인해 야기되는 텅스텐 필라멘트의 산화현상은 전구의 수명을 현저히 감소시킨다. 밀봉된 금속 전기소자 표면에 흡착된 수증기를 통해 누전 현상이 발생함으로써 소자가 비정상적으로 동작될 우려가 있다. 반도체 산업분야에서는 1 ppb의 수증기가 64 Mb DRAM 제조에 영향을 줄 수 있다는 것이 보고된 바 있다. (중략)

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • spinning rotor gauge, quartz crystal microbalance 등을 사용하는 방법이 알려져 있다. 이 논문에서는 광학적 흡수분광 방법을 사용하여 미량의 수증기를 측정한 결과에 대해 보고한다. 광학적 방법은 성능이 우수하고, 값이 싼 반도체 레이저의 개발과 함께 1990년 이후에 활발히 연구되고 있으며, 최근에는 1 ppb의 감도를 가진 반도체 레이저 분광장치의 개발이 보고되었다⑵
  • 92 nm이며, 그림 2의 (c)에 보인 것과 같다. 817.92 nm의 전이선을 선택하여 미량의 수증기를 정량적으로 측정한 결과에 대해 보고한다. 측정감도를 증가시키기 위해 파장변조 (Wavelength Modulation, WM) 분광방법을 사용하였고, 파장변조 분광 스펙트럼의 특성에 대해 보고한다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로