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NTIS 바로가기한국진공학회 2002년도 제22회 학술발표회 초록집, 2002 Feb. 19, 2002년, pp.103 - 103
한준희 (한국표준과학연구원) , 이광렬 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) , 김광석 (한국항공대학교 항공재료공학과) , 이상율 (한국항공대학교 항공재료공학과) , 김진홍 (LG 전자기술원, 소자재료연구소) , 홍기명 (LG 전자기술원, 소자재료연구소)
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