$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

IR 광학부품의 내구성 향상을 위한 DLC 박막 코팅
DLC(Diamondlike Carbon) Coating on IR Optical Elements 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
연구책임자 송정식
참여연구자 송영식 , 원호연 , 이행우 , 김상근 , 최윤
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1996-12
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 한국생산기술연구원
Korea Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO200200056789
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 DLC.IR.ZnS.Ge.GeC.버퍼층.투과도.CO₂laser.

초록

(1) 1차년도 · 코팅 장비 제작 · 다이아몬드 박막 시제작(2) 2차년도 · 유도결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드 박막 제작 · 용량결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소막 제조(3) 3차년도 · 보호막 증착 공정 확립 · 보호막과 기판 사이에 접착력 증대를 위한 버퍼층의 결정 · 보호막과 버퍼층의 굴절률을 고려한 무반사 코팅 공정 확립 · 보호막의 최종 성능 특성 평가

목차 Contents

  • 제 1 장 서론...17
  • 제 1 절 연구 개발의 배경...17
  • 제 2 절 연구 개발의 목적...20
  • 제 2 장 다이아몬드 박막의 특성 및 증착 방법...23
  • 제 1 절 탄소의 결정구조...23
  • 제 2 절 다이아몬드막의 특성 및 생성기구...27
  • 1. 특성...27
  • 2. 생성기구...33
  • 제 3 절 다이아몬드 기상합성법...38
  • 1. 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법...39
  • 2. 열필라멘트 화학증착법...41
  • 3. 고주파 플라즈마 화학증착법...43
  • 4. 직류 플라즈마 화학증착법...45
  • 제 4 절 적외선 광학재료를 위한 다이아몬드막...46
  • 제 3 장 다이아몬드막 합성을 위한 장비의 제작 및 실험...49
  • 제 1 절 유도결합형 고주파 플라즈마 화학증착장비 (Inductively-coupled plasma CVD)의 설계 및 제작...49
  • 제 2 절 실험방법...51
  • 1. 반응가스 및 기판...51
  • 2. 다이아몬드막 제조...51
  • 3. 다이아몬드막 분석...52
  • 제 3 절 결과 및 고찰...52
  • 제 4 장 다이아몬드성 탄소막의 특성 및 증착기구...75
  • 제 1 절 배경...75
  • 제 2 절 다이아몬드성 탄소막의 특성...77
  • 1. 수소 양...77
  • 2. 전자특성...78
  • 3. 결합 및 계면효과...78
  • 제 3 절 다이아몬드성 탄소막 제조공정...88
  • 제 4 절 응용...94
  • 제 5 절 해결해야 할 다이아몬드성 탄소막 제조공정...97
  • 제 5 장 용량결합형 고주파 플라즈마 화학증착장비(Capacitively-coupled plasma CVD)의 제작 및 메탄 반응 가스를 이용한 DLC 박막의 증착...99
  • 제 1 절 용량결합형 고주파 플라즈마 화학증착장비 (Capacitively-coupled plasma CVD) 장비의 설계 및 제작...99
  • 제 2 절 실험방법...99
  • 1. 시약 및 기판...99
  • 2. 다이아몬드성 탄소막 제조...101
  • 3. 다이아몬드성 탄소막 분석...101
  • 제 3 절 결과 및 고찰...102
  • 제 6 장 아세틸렌 반응 가스를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 DLC 박막의 기계적, 광학적 특성...113
  • 제 1 절 실험 방법...113
  • 1. 기판의 준비...113
  • 2. DLC 박막의 증착...113
  • 3. DLC 박막의 특성 분석...115
  • 제 2 절 결과...115
  • 1. 두께와 굴절률...115
  • 2. 경도...124
  • 3. Raman Spectrum 분석...126
  • 제 7 장 ZnS 상에 형성 시킨 Ge, GeC 버퍼층 형성과 특성 및 DLC/Buffer Layer/ZnS 계에 관한 연구...149
  • 제 1 절 도입...149
  • 제 2 절 실험 방법...149
  • 1. Ge 버퍼층의 증착...149
  • 2. GeC 버퍼층의 증착...150
  • 3. 박막의 특성 분석...150
  • 제 3 절 결과...151
  • 1. Ge 박막...151
  • 2. GeC 박막...158
  • 3. DLC/buffer layer/ZnS 계의 특성...161
  • 제 8 장 총 결론...171
  • 참 고 문 헌...173

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

관련 콘텐츠

이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로