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온도 안정성 저손실 LTCC 제조
Fabrication of Temperature Stable LTCC with tow Loss 원문보기

한국산학기술학회 2003년도 춘계학술발표논문집, 2003 June 01, 2003년, pp.181 - 184  

김용철 (순천향대학교 신소재화학공학부) ,  이경호 (순천향대학교 신소재화학공학부)

초록
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ZnwO₄는 높은 품질계수에 의해 주파수 선택성이 뛰어나지만 다층형태의 고주파 무선부품으로의 응용을 위해서는 높은 소결온도(1100℃), 큰 음의 공진주파수 온도계수(-70ppm/℃), 낮은 유전율(15.5) 둥에 대한 보정이 필요하다. 본 연구에서는 ZnwO₄에 TiO₂ 및 LiF를 첨가하여 ZnwO₄의 저손실특성을 유지하면서 주파수 온도안정성 및 저온소결성을 부여하고자 하였다. 큰 양의 공진주파수 온도계수(＋400ppm/℃) 및 유전율(100)을 갖는 TiO₂의 첨가는 공진주파수 온도계수를 음의 값에서 양의 값으로 변화시켰으며 유전율의 증가를 가져왔다. TiO₂를 20 mol％ 첨가한 경우 공진주파수 온도 계수가 0에 가깜고 유전율 19.4에 품질계수 50000㎓의 특성을 얻을 수 있었으나 소결온도는 1100℃로 높은 소결온도를 보였다. ZnwO₄에 TiO₂가 첨가된 혼합체에 LiF의 첨가는 액상형성에 의해 소결온도를 1100℃에서 850℃로 크게 저하시킬 수 있었다. LiF는 첨가는 LiF 자체의 큰 공진주파수 온도계수에 의해 온도계수를 음의 값으로 변화시켰다. 따라서 TiO₂ 및 LiF의 적당량의 첨가는 온도 안정성을 갖는 저손실 ZnwO₄-TiO₂-LiF계 LTCC 소재를 제조할 수 있었다.

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문제 정의

  • 높은 주파수 선택성을 갖으나 높은 소결 온도, 낮은 유전율 및 주파수 온도 안정성이 나栏 ZnWQ 에 TiOz 및 LiF를 첨가하여 저온 소성이 가능하고 주파수 온도 안정성이 우수한 비유리졔 LTCC 조성을 개발하고자 하였다';
  • 본 연구에서는 변화하는 시장수요에 능동적으로 대처하고자 기존의 유리 및 결정화 유리 계를 탈피하여 결정질 ZnWCX를 기본조성으로 하여 여기에 TiO2 및 LiF를 첨가하여 치밀 화 온도변화와 그때의 고주파유전 특성을 측정하여 LTCC 소재로 서의 웅웅성을 타진해보았다.
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