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제안 방법
- C 제어부를 이용하여 가스 혼합기를 거처 램프에 필요한 양의 가스를 주입하였다. 가스주입 후 5분 정도 램프 내에서 가스가 안정화되는 시간을 가진 후 13.56MHz RF 전원공급 장치와 매칭시스템을 통해 램프의 안테나에 전력을 공급하였다. 이러한 방법으로 <표 1>의 조건으로 반복하여 램프를 점등 시키고 Minolta CS-1000 을 이용하여 휘도와 스펙트럼을 측정하였다.
- 과와 같이 재작된 안테나와 방전구를 결합하여의 진공 장비에 결함하고, 로타리펌프와 터보펌프를 이용하여 10-6Torr까지 진공을 유지시킨 후, MFC와 M.F.C 제어부를 이용하여 가스 혼합기를 거처 램프에 필요한 양의 가스를 주입하였다.
- 본 논문에서는 무수은 무전극광원 개발을 위해 ICP를 이용한 제논 램프로서, 제논(Xe)가스와 네온(Ne)가스, 크립톤(Kr)가스의 혼합가스를 이용 램프를 설계 하여 가스의 압력과 혼합 비율을 변화하며 입력전력을 변화시켜가면서 램프의 발광 특성을 측정 분석하였다.
- 이러한 방법으로 의 조건으로 반복하여 램프를 점등 시키고 Minolta CS-1000 을 이용하여 휘도와 스펙트럼을 측정하였다.
- 있다. 첫 번째 그림은 방전구 내에 전자기적 에너지를 발생시켜 제논가스를 방전시키기 위한 안테나로 MnZn 재질의 페라이트 코어와 구리코일이 사용되었고 이들의 지지와 열의 배출을 위해 알루미늄 재질의 지지대를 설계하였다. 두 번째 그림은 방전구로 소다라임 유리를 사용하였고 내부에 형광체를 도포하지 않은 상태로 실험에 사용되었다.
대상 데이터
- 첫 번째 그림은 방전구 내에 전자기적 에너지를 발생시켜 제논가스를 방전시키기 위한 안테나로 MnZn 재질의 페라이트 코어와 구리코일이 사용되었고 이들의 지지와 열의 배출을 위해 알루미늄 재질의 지지대를 설계하였다. 두 번째 그림은 방전구로 소다라임 유리를 사용하였고 내부에 형광체를 도포하지 않은 상태로 실험에 사용되었다.
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