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진공펌프의 소음 진동 측정을 위한 종합 성능 평가 장치 개발
Development integrated Evaluation System for Measuring Sound and vibration of Dry Pumps 원문보기

한국음향학회 2004년도 춘계학술발표대회 논문집 제23권 1호, 2004 Spring, 2004년, pp.221 - 224  

류제담 (한국표준연구원 음향진동 그룹) ,  정완섭 (한국표준연구원 음향진동 그룹) ,  임종연 (한국표준연구원 진공 기술 센터) ,  홍동표 (전북대학교)

초록
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드라이 펌프(Dry Pump)는 청결을 요구하는 반도체 생산 공정에 많이 사용하고 있다. 오늘날 반도체 수요의 증가와 함께 드라이 펌프의 수요도 늘어나고 있다. 그에 각 반도체 회사들은 진공 펌프의 선정이 매우 중요한 문제 중 하나로 대두대고 있다. 진공 펌프를 위한 종합 성능 평가 장치의 개발은 이들 회사에서 요구하는 펌프의 성능을 종합적으로 평가함으로써 펌프 선정의 중요한 근거 자료로 사용 할 수 있을 것이다. 본 연구에서 구축한 종합성능 평가 장치는 진공 펌프의 최대 도달 진공도(Ultimate Pressure), 배기속도(Pumping Speed), 전력 소비(Power Consumption), 진동(Vibration) 그리고 음향 파워(Sound Power)등과 같은 종합적인 성능을 한번에 평가 할 수 있다.

AI 본문요약
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대상 데이터

  • 본 연구 결과는 최대 배기 속도가 600 [nr7h]인 한대 의 새 드라이 펌프와 4대의 수리된 드라이 펌프를 대상 으로 하였다. 그림 6은 드라이 펌프의 배기속도를 나타 낸 것으로 기본적으로 새 펌프(2번 펌프)와 비슷한 성 능을 보이고 있으며 3번 펌프가 다른 펌프들에 비해 좋 지 않은 성능을 보여 주고 있다.
  • 본 연구 결과는 최대 배기 속도가 600 [nr7h]인 한대 의 새 드라이 펌프와 4대의 수리된 드라이 펌프를 대상 으로 하였다. 그림 6은 드라이 펌프의 배기속도를 나타 낸 것으로 기본적으로 새 펌프(2번 펌프)와 비슷한 성 능을 보이고 있으며 3번 펌프가 다른 펌프들에 비해 좋 지 않은 성능을 보여 주고 있다.
  • 수집 장치는 NI사의 A/D board가 장착되어 있는 두 대의 컴퓨터로 구성 되어 있으며 데이터는 Labview를 사용하여 실시간으로 저장 한다.
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