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NTIS 바로가기주관연구기관 | (유)우성진공 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500013222 |
과제고유번호 | 1425081139 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 드라이 진공펌프.스크류 진공펌프.도달진공도.배기속도.고진공. |
□ 개발목표
계 획
고진공 스크류 드라이 진공펌프 설계 및 제작
실 적
고진공 스크류 드라이 진공펌프 개발 완료
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 도달진공도(torr) : 계획(0.0005), 실적(0.0005torr)
2. 소비전력(kW) : 계획(11.5), 실적(7.5kW)
3. 배기속도(m3/h) : 계획(300), 실적(302.5m3/h)
4. 진동(mm/s) : 계획(0.4), 실적(0.215 mm/s)
5. 소음(dB
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