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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6, 2005 July 07, 2005년, pp.412 - 413
손희주 (고려대학교 전기공학과) , 나대석 (고려대학교 전기공학과) , 백경갑 (대진대학교 전자공학과) , 박배호 (건국대학교 물리학과) , 권광호 (한서대학교 전자공학과) , 남산 (고려대학교 신소재공학과) , 주병권 (고려대학교 전기공학과)
This paper describes resonant frequency of the structural behavior of micro-cantilever beam simulated by FEM (Finite Element Method). The resonant characteristics and the sensitivity of cantilever-shaped SOI resonant were measured for the application of chemical sensor. The resonant frequency of the...
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