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투명유리 내부의 컬러 미세형상 가공
Micro-machining inside of a transparent glass 원문보기

한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, 2006 May 01, 2006년, pp.209 - 210  

김영미 (한국기계연구원 나노가공그룹) ,  유병헌 (한국기계연구원 나노가공그룹) ,  조성학 (한국기계연구원 나노가공그룹) ,  장원석 (한국기계연구원 나노가공그룹) ,  김재구 (한국기계연구원 나노가공그룹) ,  황경현 (한국기계연구원 나노가공그룹)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have successfully termed brown colored patterns inside of a transparent borosilicate glass generally known as BK7, laying the focus of near infrared Ti: sapphire femtosecond laser beam in the bulk BK7 glass. It is important to keep the laser power well below the damage threshold of BK7 in forming...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 800nm 영역의 파장을 가지는 Ti:S 叩 phire Femtosecond laser를 투명한 재질의 BK7 유리에 조사하여 갈색 빛을 타나내는 영역을 벌크 유리의 내부에 가공하였다. 광학현미경으로 확인한 결과 레이저가공에 의한 유리의 기계적 손상은 전혀 없었으며, 선형흡수스펙트럼을 측정하여 Gaussian에 fitting 한 결과 밴드 갭 에너지는 4.
  • Fig. 1 의 장치에 레이저 빔 출력이 17tnW가 된 상태에서 5x 대물렌즈를 이용하여 레이저 빔을 BK7 유리의 표면으로부터 20011m 깊이에 집속시킨 후 0.5mm/s 의 속도로 선 스캔 하여 갈색에 가까운 색을 비교적 넓은 면적으로 구현하였다(Fig. 2). 이때 면을 채운 선들 간의 간격은 15 11m가 되도록 하였다.
  • O. M. Efimov 등은 붕규산 유리에 펨토초 레이저를 damage threshold 이하가 되도록 조사하여 컬러센터를 형성하였음을 보고하였는더), O. M. Efimov 등은 낮은 펨토초 레이저 파워를 구현하기 위하여 레이저의 초점을 가공하는 유리 재질 외부에 두어 자유로운 패턴 형성이 어려웠으나, 본 실험에서는 필터를 사용해 주어 레이저 빔의 강도를 줄여 줌으로서 레이저 빔의 초점이 붕규산 유리 내부로 오더라도색체 형성이 가능하도록 하여 가공의 용이성을 더하였다 [3].
  • 가공된 시편은 광학현미경을 이용하여 100배까지 확대하여 가공 상태를 확인하였으며, UV-VIS 스펙트로 미터(Shimadzu, UV-2450)를 사용하여 상온에서 흡수스펙트럼을 측정하였다. 제작된 시료의 색은 널리 사용되는 백색광원인 형광등과 할로겐램프 아래에서 확인하였다.
  • 가공의 정확성을 기하기 위해서 X, y, z축 방향으로 각각 오차범위 50nm 이내에서 작동되는 스테이지를 제작하여 사용하였다.
  • 물리적 화학적으로 안정하고 가공이 용이하며 광학 특성이 좋은 것으로 알려진 BK7 유리 내부에 펨토초 레이저의 초점이 오게 하여 투명한 유리 내부에 갈색 면을 가공하였다.
  • 별도로 불순물 처리를 하지 않은 BK7 유리와 갈색으로 컬러센터가 형성된 BK7 유리의 선형흡수 특성을 스펙트로미터를 이용하여 B2O3-3SiO2 유리의 밴드 갭 에너지인 4eV 영역을 피하여 i.5eV ~ 4eV 에서 측정하여 비교하였다(Fig. 3(a)).
  • 본 실험에서는 상온에서 근적외선 파장을 가지는 Ti:Sapphire 펨토초 레이저를 이용하여 불순물이 도입되지 않은 고순도의 투명한 BK7 유리 내부에 갈색을 띄는 패턴을 구현하였으며, 제조된 패턴의 선형흡수스펙트럼을 관찰하고 그 데이터를 Gaussian fitting 하여, 제작된 패턴에서 상온에서 장시간 안정하며 불순물에 관계없는 컬러센터가 형성되었음을 보였다.
  • 컬러센터가 형성된 부분만이 주는 광흡수 특성을 보기 위해 갈색으로 패턴이 입혀진 부분에서 측정된 흡수스펙트럼 과 패턴을 입히지 않은 BK7 유리의 흡수스펙트럼의 차이를 보았다(Fig. 2 (b)).

대상 데이터

  • 레이저 펄스는 stretch 된 후 Ti:Sapphire regenerative multipass amplifier(Quantronix, Titan amplifier) 를 이용하여 증폭되고, Q・switch 장착 Nd:LiYF4 다이오드 레이저(Quantronix, 527DQ)로 펌핑 된 800nm 파장의 펨토초 레이저 (Quantronix, Integra system)를 사용하였다.
  • 색 형성을 위해 조사한 레이저는 다이오드로 펌핑된 Nd:YVO4 레이저를(Coherent, Vitesse) seed로 발진하며, mode lock 되어 있는 Ti:Sapphire laser■를 사용하였다. 레이저 펄스는 stretch 된 후 Ti:Sapphire regenerative multipass amplifier(Quantronix, Titan amplifier) 를 이용하여 증폭되고, Q・switch 장착 Nd:LiYF4 다이오드 레이저(Quantronix, 527DQ)로 펌핑 된 800nm 파장의 펨토초 레이저 (Quantronix, Integra system)를 사용하였다.
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