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문제 정의
- 이 연구는 탐침의 형상을 실시간 제어하기 위한 것으로 텅스텐 와이어에 인가되는 전류를 실시간으로 측정하여 그 전류치를 전기 화학적 모델에 대입함으로써 현재 텅스텐 와이어의 에칭량을 예측하고 에칭량을 기준으로 텅스텐 와이어의 담금 깊이를 조절하여 원하는 형상의 탐침을 제조하는 것이다. 원하는 형상을 형상 함수로 나타내고 이에 따라 에칭량을 조절하여 원하는 형상의 탐침을 제조할 수 있었다.
- 본 연구는 산업자원부의 마이크로 전기 화학 복합 형상 제거 시스템 개발 사업의 지원으로 이루어졌다.
가설 설정
- 제어 시간 간격 동안 에칭된 텅스텐 와이어의 부피와 페러데이의 전기 화학 법칙(식(1))을 통해 계산한 에칭된 부피(식(2))와 같게 된다. 이때 에칭되는 부피는 Fig. 3과 같이 제어 간격 시간 동안 전체 입수된 텅스텐 와이어의 전면에서 동일한 양으로 일어난다고 가정한다. 도식적으로 계산된 에칭 부피와 페러데이의 법칙을 이용하여 계산한 부피는 서로 같기 때문에 이 관계에서 제어 시간 간격 동안 변하는 반지름 X를 계산해 낼 수가 있다.
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