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[국내논문] 잉크젯을 이용한 미세패턴에 관련된 일반 이슈들
Issues of Inkjet Printing for Fine Resolution Patterning 원문보기

한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집, 2007 Nov. 08, 2007년, pp.545 - 546  

신동윤 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ,  김동수 (한국기계연구원 나노기계연구본부)

초록이 없습니다.

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문제 정의

  • 본 논문에서는 피에조 Drop-On-Demand(DOD) 잉크젯 방식의 미세패턴에 있어서의 공정이슈를 살펴보도록 하겠다.
  • 본 논문을 통해 피에조 DOD 잉크젯을 이용한 미세선폭 패턴에 있어, 더 작은 노즐을 사용하여 더 미세한 패턴을 수행하는 것이 일반적인 경향이었으나, 이러한 경향은 잉크젯 프린트 헤드의 유지보수성과 신뢰성, 그리고 충분한 작동수명과 수명편차의 보장에 부정적인 영향을 미침을 논하였다. 또한, 패턴선폭의 축소보다 오히려 적절한 종횡비를 달성하기 위한 노력과, 균일하며 반복적인 패턴품질을 달성할 수 있는 패턴 알고리듬에 대한 연구개발이 병행되어야 함을 알 수 있다.
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